8 pouces 25 fente cassette de plaquette métallique visuelle utilisée dans l'industrie de la technologie de l'emballage des semi-conducteurs

8 pouces 25 fentes cassette de plaquette métallique visuelle utilisée dans l'industrie de la technologie de l'emballage des semi-conducteurs

Fabriquées à partir d'alliages d'aluminium, les cassettes à gaufres en métal offrent une durabilité inégalée pour une utilisation en salle blanche.

Caractéristiques:

1. aluminium avec revêtement résistant à l'usure, lisse, dur.

2. résistant à la chaleur jusqu'à 350°C (Al).

3Une entrée en douceur.

4Conception selon les normes de l'industrie des semi-conducteurs.

Applications:

1Dans un environnement de procédé thermique, les plaquettes sont traitées dans une cassette à des températures supérieures à 43°C, la limite supérieure du seuil structurel typique pour les cassettes de procédé en plastique.

Cela inclut la déposition chimique par vapeur (CVD), le traitement thermique rapide (RTP) et les applications de recuit des plaquettes.
Bakeout - Applications de cuisson thermique à long terme où les gaufres doivent être laissées au four pendant plusieurs jours.

2- équipements de traitement dont la température d'insertion de la gaufre (la gaufre retirée de l'outil de traitement) dépasse le point de fusion du boîtier en plastique.

Le besoin d'un débit plus élevé réduit le temps de refroidissement et d'acclimatation des wafers dans la chambre.

3. Environnements internes Cassettes - Environnements d'automatisation d'outils en grappe où les cassettes sont inactives dans un environnement sous vide chauffé (chambre) pour plusieurs étapes de processus.

4- Exigences de précision du support - Les environnements automatisés à chaleur modérée exigent une précision dimensionnelle que les cassettes en plastique ne peuvent pas fournir.

Manipulation des gaufres minces - Lors de la manipulation des gaufres minces, des gaufres minces tranchées dans le boîtier en plastique.Wafer épais - Applications de collage ou de wafer épais où les cassettes en plastique standard de l'industrie ne peuvent pas être utilisées en raison de la taille de la fente.

La personnalisation est disponible sur demande.

Des configurations personnalisées sont disponibles (des quantités minimales de commande peuvent s'appliquer): plaquage en nickel sans électroliquide EN sur des profilés en aluminium pour des applications à vide élevé;en forme de plaques de profil plat pour des gaufres minces ou épaisses; poignées de retenue de paroi d'extrémité; et configurations à double barre h pour le traitement des plaquettes arrière.

Paramètres techniques:

1. boîte en aluminium de traitement: (Al, HC) 8 ′′ - 25 fente, fente inclinée (standard).
2. Tailles: sélectionnez la taille du couvercle (en haut), du couvercle (en bas), du H-BAR personnalisé (en bas), du H-BAR (en haut).
3Aluminium, résistant à l'abrasion, revêtement lisse et dur.
4- Des rainures lisses et des vis de ventilation sous vide.
5Conçu selon les normes SEMI.

Emballage et expédition

1Limites de poids
Le poids total d'un seul emballage ne doit pas dépasser 25 kg.
Convient pour le chargement et le déchargement, il répond à la capacité de chargement de différents moyens de transport.

2. Spécification de la taille
La taille du carton doit être inférieure à 1,5 mètre cube.
Carton plastique, fûts en acier et autres dimensions selon la taille réelle des marchandises à déterminer.
Veiller à ce que l'emballage puisse être chargé en douceur dans le conteneur, la cabine de chargement de l'avion, etc.

3. Gestion de la documentation
Préparez le connaissement, la facture, la liste des colis et d'autres documents nécessaires.
Les informations documentaires doivent être complètes et exactes, correspondant aux marchandises réelles.